Nitrogén Trifluoride (NF3) Gas Purity High
Émbaran Dasar
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Naon bahan ieu?
Nitrogén trifluoride (NF3) nyaéta gas teu warnaan sareng teu aya bauan dina suhu kamar sareng tekanan atmosfir. Ieu bisa liquefied dina tekanan sedeng. NF3 stabil dina kaayaan normal sareng henteu gampang terurai. Nanging, éta tiasa terurai nalika kakeunaan suhu anu luhur atanapi ku ayana katalis anu tangtu. NF3 ngabogaan potensi pemanasan global (GWP) anu luhur nalika dileupaskeun ka atmosfir.
Dimana nganggo bahan ieu?
Agén beberesih dina industri éléktronika: NF3 loba dipaké salaku agén beberesih pikeun miceun rereged residual, kayaning oksida, ti surfaces of semikonduktor, panels tampilan plasma (PDPs), sarta komponén éléktronik lianna. Éta sacara efektif tiasa ngabersihan permukaan ieu tanpa ngarusak aranjeunna.
Gas etching dina fabrikasi semikonduktor: NF3 dipaké salaku gas etching dina prosés manufaktur semikonduktor. Ieu utamana éféktif dina etching silikon dioksida (SiO2) jeung silikon nitride (Si3N4), nu mangrupakeun bahan umum dipaké dina fabrikasi sirkuit terpadu.
Produksi sanyawa fluorine-purity tinggi: NF3 mangrupakeun sumber berharga tina fluorine pikeun produksi rupa-rupa sanyawa fluorine-ngandung. Hal ieu dipaké salaku prékursor dina produksi fluoropolymers, fluorocarbons, sarta bahan kimia husus.
Generasi plasma dina manufaktur tampilan panel datar: NF3 dipaké babarengan jeung gas séjén pikeun nyieun plasma dina produksi mintonkeun panel datar, kayaning mintonkeun kristal cair (LCDs) jeung PDPs. Plasma penting pisan dina prosés déposisi sareng étsa salami fabrikasi panel.
Catet yén aplikasi jeung peraturan husus pikeun pamakéan bahan ieu / produk bisa rupa-rupa dumasar nagara, industri jeung tujuan. Salawasna tuturkeun tungtunan kaamanan sareng konsultasi ka ahli sateuacan nganggo bahan/produk ieu dina aplikasi naon waé.
